자동전원제어 - automatic pressure control

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

처리실내의 압력을 자동적으로 제어하는 것. 현재는, 처리실내의 가스 유량을 일정하게 하여, 압력의 피드백(feedback)을 걸어주어, 배기계의 컨덕턴스를 자동적으로 조정하는 방법이 일반적이다. 간단하게는 배기계의 컨덕턴스를 변화시키지 않고, 가스유량을 변화시켜 처리실내의 압력을 제어하는 것도 있다.

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