자동배기장치 - automatic exhaust air mechanism

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

번인 중 또는 번인 종료 후에 있어서 피측정디바이스에서의 발열 및 챔버 안에 축적된 열을 자동적으로 챔버 밖으로 배출하여, 챔버온도를 제어하는 장치.