약품자동공급장치 - automatic chemical supply (dispense) system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체제조공정에서 사용되는 약품을, 제조장치에 자동공급하는 장치. 클린부스(clean booth), 필터 등으로 구성되며, 대형공급장치는 저장탱크, 서브라인 탱크, 밸브장치 등의 설비가 더 장착된다.