자동초점계 - auto focus system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스테퍼로 노광할 때, 웨이퍼에 상이 제대로 맺히도록 하는 시스템. 빛을 주고 받는 센서는 고정이 되어있고, 웨이퍼 스테이지가 슬롯단위로 이동한 뒤 정지하면 샷의중심부에 비추는 빛에 의해 초점이 측정되어 자동적으로 초점을 맞혀준다.