원자층 에피택셜 성장장치 - atomic layer epitaxial growth system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

원자층 또는 분자층을 한층씩 제어하여 성장시키는 장치. 원자층 제어의 방법은 다이나믹법과 포화흡착법으로 구분되며, 양자(quantum)효과를 얻기 위해 화합물반도체소자를 극미세구조로 만든다.