기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
상압CVD 장치 - atmospheric pressure CVD system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
반응실 안의 압력이 대기압인 CVD장치. 증착속도가 빠르고, 단차 피복성(step coverage)가 비교적 양호하다.
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