기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
상압기상 에피택셜 성장장치 - atmosphere pressure vapor phase epitaxial growth system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
대기압에서 기상에피택셜성장을 하는 장치. 실리콘 디바이스, 특히 바이폴라 디바이스 등의 제조공정에 일반적으로 이용되고 있다.
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