어스펙트비 - aspect ratio

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

현상된 레지스트막 또는 식각으로 웨이퍼 위에 형성된 패턴의 깊이와 폭의 비. 어스펙트비=b/a (a : 식각폭, b : 식각의 깊이)