애싱 - ashing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

포토리소그래피의 마지막으로 웨이퍼 위의 레지스트를 제거하는 것. 습식박리와 건식박리로 나뉘며, 보통 건식박리장치를 애싱장치(asher)라고 한다.