애싱 장치 건식박리장치 - asher dry type stripping system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 위의 레지스트를 산화시켜 날려버려, 제거하는 장치. 습식박리장치에 비해 선폭이 줄어도 문제가 없으며, 적은 공간에서 깨끗하게 레지스트를 제거할 수 있다.