아크 챔버 - arc chamber

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

아크방전을 이용한 이온원의 플라즈마생성실. 대표적 이온원으로써, 프리만형이 있다. 이 이온원에는 필라멘트와 아크챔버간에 약 100V전압이 인가되며, 생성된 이온은 아크챔버슬릿(slit)에서 인출된다.