양극결합 - anode coupling

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

한 쌍의 전극 내에, 웨이퍼가 설치된 전극을 접지전극으로 하고, 다른 전극에 고주파를 인가하는 것.