어닐균일성 - annealing uniformity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

어닐링에 의해 처리한 웨이퍼 면내(面內)와 면간(面間) 온도의 부정합. 열전대를 이용하여 웨이퍼의 온도를 직접측정하거나, 이온주입 후에 시드저항을 측정하여 어닐균일성을 구한다.