어닐링 일단열처리 - annealing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

주로 Si 웨이퍼의 표면결함을 검사하기 위한 열처리방법. 1000℃전후에서 수십시간의 한번 열처리하는 것을 어닐링(일단열처리)라고 한다.