기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
분석산소량 산소석출량 - amount of oxygen precipitation
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
Si 웨이퍼를 열처리하면 과잉산소가 SiOx의 형태로 석출된다. 이 석출에 작용하는 산소의 양.
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