정렬스코프 - alignment scope

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 위의 정렬마스크의 한 점과 레티클 위에서 정렬마스크의 떨어진 또 한 점을 동시에 계측하여, 웨이퍼와 레티클의 X, Y 방향의 오차와 회전의 부정합을 관찰하는 쌍안현미경.