정렬마크 정합마크 - alignment mark

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

정렬용으로써, 마스크(레티클)와 웨이퍼 등에 형성된 마크(mark). 마크의 모양은 검출방법에 따라 다르고, 정렬타겟이라고도 부른다.