정렬정밀도 위치정합 정밀도 - alignment accuracy

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판 위에 기존에 있던 패턴과 다음 공정설계패턴의 상대위치정밀도, 특히 정렬마스크간의 위치 정밀도.