애프터코로젼 - after - corrosion

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

식각할 때에 웨이퍼에 부착된 염소(Cl2)와 반응생성물이 대기 중의 수분과 반응하여, 이것에 의해 식각 후에 Al배선 등이 부식되는 현상.