기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
AGA EGA - advanced global alignment enhanced global alignment
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
글로벌 정렬의 일종. 다점(多点)위치정보에 의한 통계적 추정 산출를 기초로 하여, 웨이퍼 스테이지를 노광위치로 이동하는 정렬방식.
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