액티비 댐퍼 - active damper

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체 노광장치에 있어서, 받침대 진동 등의 외란(disturbance)를 차단하기 위한 진동제거장치인데, 특히 진동을 억제하기 위한 액추에이터(actuator), 센서 및 이 제어 시스템을 갖는 진동제거장치를 말한다.