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웨이퍼틸트 - wafer tilt
기술용어통 반디통 용어집
이온을 주입할 때에 웨이퍼를 기울이는 것. 웨이퍼 중심에서 수직인 법선과 웨이퍼 중심에 도달하는 빔이 이루는 각도를 틸트각(tilt angle)이라고 한다.
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