기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

와프 - warf

흡착고정되지 않은 상태의 웨이퍼에서 지정된 뒷면기준면에 의한 웨이퍼 중심면의 거리의 최대값과 최소값의 차이.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
오리엔테이션플랫 - orientation flat

결정방위와 전도형의 판별 및 위치 정하기를 용이하게 하기 위해 잉곳 및 웨이퍼의 둘레에 어느 한 곳을 직선으로 한 면. 주(主)오리엔테이션 플랫과 부(副)오리엔테이션 플랫이 있다.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
웨이퍼디스토션 - wafer distortion

기계적인 칼과 열과 적층막의 응력 등의 영향에 의해 발생하는, 웨이퍼의 변형을 가리키는 것.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
사이트TIR - site TIR

흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 뒷면을 평탄하게 교정한 상태에서, 각 사이트마다 지정된 기준면에서의 각 사이트표면 높이의 최대값과 최소값의 차.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
부분사이트 - partial site

사이트영역의 일부가 FQA 밖에 있는 사이트 중에서, 사이트 중심이 FQA 안에 있는 것.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
사이트크기 - site size

웨이퍼 평탄도 측정에 있어서 사이트의 크기. 보통㎜×㎜로 나타낸다. 셀크기(cell size)라고 불리우는 것도 있다.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
사이트 - site

웨이퍼를 어떤 일정한 방법으로 분활할 때의 한 구역. 1구역을 대상으로 한 평탄도를 사이트 평탄도(site flatness)

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바우 - bow

흡착고정되지 않은 상태에서 활 모양으로 굽은 웨이퍼의 중심점과 지정된 기준면에서 웨이퍼 중심면과의 거리.

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사이트FPD - site FPD

흡착고정 등에 의해, 웨이퍼 뒷면을 평탄하게 교정한 상태에서, 각 사이트마다 지정된 초점면에서의 각 사이트표면에서의 최대거리.

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TAGS : 형상용어

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