기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

오존첨가 초순수 - ozonized ultrapure water

미량(ppm 단위)의 오존을 첨가한 초순수. 초순수 속에 용해된 오존은 세정 중에 강력한 산화제로써 작용하며, Si 웨이퍼 위의 계면활성제 등의 잔류유기물을 분해․제거하고, 균일하고 평탄한 산화막을 형성한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
오버플로우 린스 - overflow rinse

물의 흐름이 워크의 위 방향에서 아래 방향으로 흘러, 평균적으로 수조의 윗면에서 흘러넘치는 순수세정방식.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
원심 스프레이 세정장치 - centrifugal spray cleaning equipment

회전하는 로터에 탑재된 세정물에, 회전 중심축에서 세정액을 분무하여 세정하는 장치. 송액부(送液部)의 밸브를 바꾸어 세정액을 자유롭게 변경할 수 있어 세정물의 상태는 변하지 않고 일련의 세정처리를 완료할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
웨이퍼폭 축소탑재장치 - wafer group closing mechanism

카세트리스(cassetteless) 웨이퍼스테이션에 있어서, 50장의 웨이퍼를 일괄처리하기 위해 로딩(loading)할 때, 서로 떨어진 두 카세트에서 골라낸 25장의 웨이퍼 두 그룹을, 마치 50장용의 카세트에 넣은 것처럼 근접시켜, 로봇 척에 탑재하는 장치. 25장의 웨이퍼를 탑재한 2개의 척을 근접시켜 50장을 일괄운송하는 방식도 있다. 세정조(cleaning bath)의 소형화가 가능하다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
인라인히터 - inline heater

가열약액세정과 가열순수린스를 하기 위해, 공급배관 또는 순환여과배관에 약액을 흐르게 하면서 가열할 수 있도록 한 장치. 처리조 안에 투입 히터를 사용하지 않고 세정할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
일조식 세정장치 원 배쓰식 세정장치 - one bath type cleaning equipment

한 개의 세정처리부(수조․탱크․챔버 등)에서 여러 세정처리를 순차적으로 진행할 수 있는 장치. 장치점유면적이 작지만, 반면에 쓰루풋(throughput)이 저하된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
순화여과식 세정조 - bath with filter for circulating solution

약액을 항상 필터로 여과하는 세정조.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
수중 컨베이어 - underwater conveyor

수중에서 세정대상물을 운반하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
메가헤르쯔 초음파 세정장치 - megasonic cleaning equipment

800kHz에서 1MHz의 주파수대역의 초음파를 사용하는 세정장치. 메가헤르쯔 초음파세정에는 캐비테이션(cavitation)의 발생이 없고, 강한 진동가속도가 물분자에 부여되므로 웨이퍼에 대미지를 주지 않고, 서브미크론의 입자를 제거하는 것이 가능하다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치

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오버플로우 린스 - overflow rinse

원심 스프레이 세정장치 - centrifugal spray cleaning equipment

웨이퍼폭 축소탑재장치 - wafer group closing mechanism

인라인히터 - inline heater

일조식 세정장치 원 배쓰식 세정장치 - one bath type cleaning equipment

순화여과식 세정조 - bath with filter for circulating solution

수중 컨베이어 - underwater conveyor

메가헤르쯔 초음파 세정장치 - megasonic cleaning equipment