확산저항법 SR - spreading resistance method

저항률ρ의 반도체 중에 점접촉하는 침 끝에서 전류가 넓게 확산되어 흐를 때 발생하는 전압강하는 I․Rs로 되고, 이 Rs를 확산저항이라고 한다. 전류는 침끝에서 반도체 중에 급속하게 확산되기 때문에, 전압강하는 대부분 침의 접촉면 근방에서 발생한다. 이 원리를 이용하여, Si 웨이퍼의 표면근방의 저항률을 측정하는 방법.