결정인상기능 - crystal lift mechanism

기술용어통 반디통 용어집
노체 위 부분에 있는 중공(中空)회전축을 끼우고 케이블을 둘러싸는 기구를 설치하여, 기구실 전체를 회전시켜 케이블에 회전을 전달하는 기구. 실리콘용 쵸크랄스키 장치에서는 축(shaft)방식에서 케이블 또는 베어링체인을 감는 방식으로 변했다.
기술용어통 category-bandi 결정인상기능 웨이퍼제공정 단결정제조 단결정제조장치-하드웨어기능 crystal lift mechanism